ForschungPublikationen
Design and fabrication of an inductive micro position sensor

Design and fabrication of an inductive micro position sensor

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2003
Autoren D. Dinulovic, T. Budde, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Statusseminare BMBF-Verbundvorhaben, Microtec, München, S. 295-300