Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Aktivteil eines Schreib-/Lesekopfes mit integriertem Mikroaktor (SLIM) für Festplattenspeicher. Active Part of a Read/Write Head with an Integrated Microactuator for Hard Disc Drives (HDD)

Non-reactive and reactive ion etching processes for patterning magnetic MEMS components

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2003
Autoren M. Balke, H. Lüthje, T. Budde, H.H. Gatzen, G. Bräuer
Veröffentlicht in Proc. of the 2nd MICRO.tec Conf. 2003, Munich, pp. 51-52