Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Atom Chip technology for use under UHV conditions

Influence of the initial surface roughness on the wear behaviour of micro probes under rotating and oscillating flat micro contact

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2003
Autoren R. Bandorf, M. Beck, H. Lüthje, J.-H. Sick, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. 2nd MICRO.tec Conf. 2003, Munich, pp. 477-478