Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
GoPro, a business process model to support the development for MEMS

Plate Topography Influence on the Nanogrinding Process.

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 1999
Autoren H.H. Gatzen, H. Siekmann
Veröffentlicht in Proc. ASPE 14th Ann. Meet. Monterey, CA, USA, pp. 83-86