Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Fertigung von Anrtiebs- und Führungskomponenten für Mikromotoren

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2007
Autoren C. Ruffert, M. Feldmann, A. Waldschick, S. Büttgenbach, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Kolloquium Mikroproduktion, Forschungzentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe, Deutschland, S. 165-170