Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Magnetic Materials, Processes and Devices 9

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2007
Autoren S. Krongelb, C. Bonhote, S. Brankovic, H.H. Gatzen, Y. Kitamoto
Veröffentlicht in ECS Transactions, Vol. 3, Issue 25