Modellierung des CMP-Prozesses zum Planarisieren von Mikrosystemen
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Beiträge in Büchern |
| Jahr | 2007 |
| Autoren | H.H. Gatzen, S. Cvetkovic |
| Veröffentlicht in | SHLP 2007, Braunschweig, Deutschland, 63. Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan Verlag, Essen, Deutschland, S. 342-361 |
