Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

An Approach for Simulating Magnetic Microactuators

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2008
Autoren D. Dinulovic, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. of International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, EuroSimE 2008, Freiburg, Germany, pp.217-220