Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Development of a System for Data Storage on Machine Components

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2008
Autoren K.-H. Wu, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. (CD), I PROMS 2008, the 4th Virtual Conf. of the EU-funded FP6 I PROMS Network of Excellence on Innovative Production Machines and Systems, pp. 454-459, Wales, UK