Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Properties of Three-Dimensional Precision Objects Fabricated by Using Laser Based Micro Stereo Lithography

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2008
Autoren A. Neumeister, R. Himmelhuber, C. Materlik, T. Temme, F. Pape, H.H. Gatzen, A. Ostendorf
Veröffentlicht in JLMN-Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Vol. 3, No. 2, pp. 67-72