ForschungPublikationen
Integration of PVDF (Polyvinylidene Fluoride) in MEMS Production

Integration of PVDF (Polyvinylidene Fluoride) in MEMS Production

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2014
Autoren S. Holz, S. Kiricenko, L. Rissing
Veröffentlicht in ECS Trans. 2014 64(1): 189-195
DOI 10.1149/06401.0189ecst