Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Development, Micro Fabrication and Test of Flexible Magnetic Write Head for Gentelligent Applications

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2013
Autoren A. Belski, M. Wurz, J. Rittinger, L. Rissing
Veröffentlicht in Microelectronic Engineering Journal, (spec. issue), Proc. 38th Int. Conf. on Micro & Nanoengineering, Toulouse, France