ForschungPublikationen
Design und Prozessfolge zur Herstellung eines elektromagnetischen Mikroaktors zur Erzeugung einer Flüssigkeitslinse für den Einsatz in einem Mikroskop

Design und Prozessfolge zur Herstellung eines elektromagnetischen Mikroaktors zur Erzeugung einer Flüssigkeitslinse für den Einsatz in einem Mikroskop

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2013
Autoren D. Hoheisel, L. Rissing
Veröffentlicht in Mikrosystemtechnik-Kongress (MST 2013), Aachen, Deutschland, pp. 500-503
ISBN 978-3-8007-3555-6