Design und Prozessfolge zur Herstellung eines elektromagnetischen Mikroaktors zur Erzeugung einer Flüssigkeitslinse für den Einsatz in einem Mikroskop
Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
Jahr | 2013 |
Autoren | D. Hoheisel, L. Rissing |
Veröffentlicht in | Mikrosystemtechnik-Kongress (MST 2013), Aachen, Deutschland, pp. 500-503 |
ISBN | 978-3-8007-3555-6 |