Design und Prozessfolge zur Herstellung eines elektromagnetischen Mikroaktors zur Erzeugung einer Flüssigkeitslinse für den Einsatz in einem Mikroskop
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Konferenz (reviewed) |
| Jahr | 2013 |
| Autoren | D. Hoheisel, L. Rissing |
| Veröffentlicht in | Mikrosystemtechnik-Kongress (MST 2013), Aachen, Deutschland, pp. 500-503 |
| ISBN | 978-3-8007-3555-6 |
