Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
GoPro, a business process model to support the development for MEMS

Fertigung eines Mikroaktors zur Manipulation von Nanopartikeln auf einem Glassubstrat

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2013
Autoren M. Kaiser, E. Delaygina, G. Steinhoff, L .Rissing
Veröffentlicht in Mikrosystemtechnik-Kongress (MST 2013), Aachen, Deutschland, pp. 496-499
ISBN 978-3-8007-3555-6