Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten

Konzept und Fertigung von Komponenten eines ferrofluidischen Mikroaktors

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2011
Autoren D. Hoheisel, T. Schultheis, L. Spani Molella, E. Reithmeier, L. Rissing
Veröffentlicht in Mikrosystemtechnik-Kongress (MST2011), Darmstadt, Deutschland, 2011