Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Aktivteil eines Schreib-/Lesekopfes mit integriertem Mikroaktor (SLIM) für Festplattenspeicher. Active Part of a Read/Write Head with an Integrated Microactuator for Hard Disc Drives (HDD)

Fabrication of MEMS on Printed Circuit Boards

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze
Jahr 2011
Autoren S. Cvetkovic, A. Wienecke, L. Rissing
Veröffentlicht in ECS Transactions, Vol. 33, Issue 34, Magnetic MEMS and Devices, 2011, pp. 69-80