Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Ultrapräzisionstrennschleifen von Mikrosystemen

Kategorien Beiträge in Büchern (reviewed)
Jahr 2011
Autoren S. Cvetkovic, M. Stompe, L. Rissing
Veröffentlicht in wt Werkstattstechnik online, Springer-VDI-Verlag, Jahrgang 101 (2011) H.11/12, S.753-757