ForschungPublikationen
Fertigung und Charakterisierung hartmagnetischer Dünnfilmschichten

Fertigung und Charakterisierung hartmagnetischer Dünnfilmschichten

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2011
Autoren J. Chen, C. Ruffert, L. Rissing
Veröffentlicht in Mikrosystemtechnik-Kongress (MST2011), Darmstadt, Deutschland, 2011