Considerations on Ultra-thin Substrateless Micro and Nano Systems
Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
Jahr | 2011 |
Autoren | H.H. Gatzen, T. Griesbach, M. C. Wurz, L. Rissing |
Veröffentlicht in | Proc. ASME2011 & Exp. IMECE2011, Denver, CO, USA, 2011 |