Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2010
Autoren S. Hansen, M. Hahn, M. Föhse, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in SFB 516 Buchbeitrag A1 – Development and Fabrication of Linear and Multi-Axis Microactuators. pp. 225-244