Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Creating Solid State Micro Joints through Micro Machining

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2010
Autoren S. Cvetkovic, F. Pape, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. EUSPEN 2010, Delft, The Netherlands, pp. 189-192, 2010