Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Simulations of an Electromagnetic Microsystem used in Biomedical Applications

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2010
Autoren T. Creutzburg, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. CD, Piers 2010, Xi’an, China, 2010