Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Simulation of an Improved Microactuator with Discrete MSM Elements

Kategorien Verschiedenes
Jahr 2010
Autoren B. Spasova, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Materials Science Forum Vol. 635, pp. 181-186, Trans Tech Publications, Switzerland