Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Biomedizinische Anwendungen energieautarker Mikrosysteme

Kategorien Verschiedenes
Jahr 2008
Autoren H.H. Gatzen, E. Flick
Veröffentlicht in CD 2, Fachveranstaltung Energy Harvesting, Haus der Technik, Essen, Deutschland