ForschungPublikationen
Focused Ion Beam Core Hole Drilling for Stress Detection in Thin-films

Focused Ion Beam Core Hole Drilling for Stress Detection in Thin-films

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2009
Autoren H. Gerdes, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin, Heidelberg, New York, Vol. 15, No. 1, pp. 151-153