ForschungPublikationen
Mikro-Hysteresemesssensor zur Vermessung anisotroper Dünnfilme. Micro Hysteresis Sensor for Measuring Anisotropic Thin-Films

Mikro-Hysteresemesssensor zur Vermessung anisotroper Dünnfilme. Micro Hysteresis Sensor for Measuring Anisotropic Thin-Films

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2009
Autoren E. Flick, K. Feindt, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. MST-Kongress 2009, Berlin, Deutschland, S. 389-392