Qualification of Membranes for MEMS Applications Applying Nanoindentation
Jahr | 2010 |
Autoren | F. Pape, T. Creutzburg, and H.H Gatzen |
Veröffentlicht in | Nanobrücken / Hysitron User Meeting, pp. 57-58, Saarbrücken, Germany, 2010 |
Jahr | 2010 |
Autoren | F. Pape, T. Creutzburg, and H.H Gatzen |
Veröffentlicht in | Nanobrücken / Hysitron User Meeting, pp. 57-58, Saarbrücken, Germany, 2010 |