Design und Herstellung eines akustischen Wandlers mit einer Polymermembran
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Jahr | 2015 |
Autoren | M. Kaiser, M. Rechel, J. Goldmann, L. Rissing, M. C. Wurz |
Veröffentlicht in | Mikrosystemtechnik-Kongress (MST2015), Karlsruhe, Deutschland, VDE Verlag GmbH – Berlin – Offenbach, S. 606-609 |
ISBN | 978-3-8007-4100-7 |