Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
GoPro, a business process model to support the development for MEMS

Design und Herstellung eines akustischen Wandlers mit einer Polymermembran

Kategorien Konferenz
Jahr 2015
Autoren M. Kaiser, M. Rechel, J. Goldmann, L. Rissing, M. C. Wurz
Veröffentlicht in Mikrosystemtechnik-Kongress (MST2015), Karlsruhe, Deutschland, VDE Verlag GmbH – Berlin – Offenbach, S. 606-609
ISBN 978-3-8007-4100-7