Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Entwurf und Fertigung eines elektromagnetischen Normalkraftaktors in hybrider Bauform für tactile Displays.

Kategorien Konferenz
Jahr 2015
Autoren M. Rechel, L. Rissing, V. Hofmann, A. Tarnowsky, F.-E. Wolter, J. Wallaschek, M. C. Wurz
Veröffentlicht in Mikrosystemtechnik-Kongress (MST2015), Karlsruhe, Deutschland, VDE Verlag GmbH – Berlin – Offenbach, S. 761-764