Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Atom Chip technology for use under UHV conditions

Verwendung von Schattenmasken zur Direktstrukturierung individuell adaptierbarer Sensorik auf technischen Oberflächen

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2015
Autoren D. Klaas, J. Rittinger, P. Taptimthong, J. F. Düsing, M. C. Wurz, L. Rissing
Veröffentlicht in MST Kongress 2015, Karlsruhe, 26. - 28. Oktober 2015, pp. 338-341
ISBN 978-3-8007-4100-7