Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutter
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Jahr | 2017 |
Autoren | Pyatishev E, Wurz MC, Enns Y, Glukhovskoy A, Fischer EC, Odintsov A, Kleimanov R |
Veröffentlicht in | Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017, München |
ISBN | 978-3-8007-4491-6 |
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