Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage
Kategorien |
Konferenz |
Jahr | 2017 |
Autoren | Klaas D, Pehrs F, Wurz MC |
Veröffentlicht in | Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, pp. 680-683 |
ISBN | 978-3-8007-4491-6 |
Weitere Informationen |