Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms
Kategorien |
Verschiedenes |
Jahr | 2021 |
Autoren | L. Steinhoff |
Veröffentlicht in | phi - Produktionstechnik Hannover informiert, 2021 |
Beschreibung
Ein Informationstext über die Entwicklung eines Beschichtungsverfahrens für Aluminiumnitrid als Dünnfilm und deren möglichen Einsatzbereiche.