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Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Elektronisches Bauteil

Kategorien Patentschriften
Jahr 2015
Autoren M.C. Wurz, L. Rissing, M. Kaiser
Veröffentlicht in DE102013013464A1
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Letzte Änderung: 13.10.23 Druckversion

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