Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Elektrische Schaltungstruktur und Verfahren zu deren Herstellung

Kategorien Patentschriften
Jahr 2018
Autoren H.J. Maier, M.C. Wurz, S. Beringer
Veröffentlicht in WO002018192976A1