Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Herstellung induktiver elektrischer Bauelemente

Kategorien Patentschriften
Jahr 2019
Autoren H.J. Maier, M.C. Wurz, S. Beringer
Veröffentlicht in WO002019081352A1