Kombination von additiver und dünnfilm-technischer Fertigung zur Herstellung eines Drucksensors für biomedizinische Anwendungen
Kategorien |
Konferenz |
Jahr | 2021 |
Autoren | M. Prediger, E. Müller, S. Bengsch, M.C. Wurz |
Veröffentlicht in | MikroSystemTechnik Kongress 2021 |