Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Aktivteil eines Schreib-/Lesekopfes mit integriertem Mikroaktor (SLIM) für Festplattenspeicher. Active Part of a Read/Write Head with an Integrated Microactuator for Hard Disc Drives (HDD)

Kombination von additiver und dünnfilm-technischer Fertigung zur Herstellung eines Drucksensors für biomedizinische Anwendungen

Kategorien Konferenz
Jahr 2021
Autoren M. Prediger, E. Müller, S. Bengsch, M.C. Wurz
Veröffentlicht in MikroSystemTechnik Kongress 2021