Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern
| Kategorien |
Konferenz |
| Jahr | 2021 |
| Autoren | S. de Wall, A. Kassner, C. Künzler, F. Dencker, L. Diekmann, M.C. Wurz |
| Veröffentlicht in | MikroSystemTechnik Kongress |
