Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
GoPro, a business process model to support the development for MEMS

Verfahren und Einrichtung zum fügen von Strukturen auf einem Substrat sowie Anordnung umfassend solcher gefügten Strukturen

Kategorien Patentschriften
Jahr 2015
Autoren L. Rissing, M. Akin
Veröffentlicht in Verfahren und Einrichtung zum fügen von Strukturen auf einem Substrat sowie Anordnung umfassend solcher gefügten Strukturen