Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
GoPro, a business process model to support the development for MEMS

Verfahren zum herstellen eines hermetisch abgeschlossenen Gehäuses

Kategorien Patentschriften
Jahr 2012
Autoren M.C. Wurz, L. Rissing, S. Zimmermann
Veröffentlicht in WO 2014023320 A1