Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Device for determination a concentration of a chemical substance

Kategorien Patentschriften
Jahr 2015
Autoren D. Hoheisel, S. Holz, L. Rissing
Veröffentlicht in US 10247665 B2