Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Verfahren zur Herstellung einer optischen Baueinheit

Kategorien Patentschriften
Jahr 2015
Autoren L. Rissing
Veröffentlicht in DE 10 2014 105 851 B3