Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Herstellung induktiver elektrischer Bauelemente

Kategorien Patentschriften
Jahr 2017
Autoren M.C. Wurz, H.J. Maier, S. Beringer
Veröffentlicht in DE 10 2017 124 675 A1