Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Thin Film Transferring via PVA Substrate and Contacting of Sensor inside Elastomer Matrix

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2020
Autoren S. Bengsch, U. Giese, E. C. Fischer, M. C. Wurz
Veröffentlicht in IEEE Sensors 2020
DOI 10.1109/SENSORS47125.2020.9278876