Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

Schreib-/Lesekopf mit integriertem Mikroaktor

Kategorien Patentschriften
Jahr 2004
Autoren H.-H. Gatzen
Veröffentlicht in DE 10260009 A1