Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern für den Einsatz in Atominterferometern

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2020
Autoren S. de Wall, A. Kassner, F. Dencker, C. Künzler, H. Heine, W. Herr, M. Christ, M. Krutzik, E. M. Rasel, M. C. Wurz
Veröffentlicht in Mikro-Nano-Integration - 8. GMM-Workshop, 2020