Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Resistance of Multilayer Diamond-like Carbon (DLC) Coatings for MEMS Applications against Oscillating Wear

The concept of a large working stroke reluctance zipper actuator

Kategorien Konferenz
Jahr 2019
Autoren Glukhovskoy A, Wurz MC
Veröffentlicht in MikroSystemTechnik Kongress 2019
ISBN 978-3-8007-5090-0