High-Sensitive Chromium Strain Gauges on Steel Surfaces

verfasst von

Rico Ottermann, Tobias Steppeler, Marc Wurz

Abstract

Dieser Artikel beschreibt die photolithografische Herstellung und Charakterisierung hochempfindlicher Dehnungsmessstreifen auf Chrombasis. Sie werden polymerfrei auf Zugproben aus Edelstahl hergestellt und weisen hohe k-Faktoren (Dehnungsempfindlichkeit) von 11,0 ± 0,1 auf. Ihr Temperaturkoeffizient (Temperaturempfindlichkeit) von 591 ± 23 ppm/°C ist vergleichsweise hoch, weshalb eine Vollbrückenanordnung in Verbindung mit einem nebenliegenden Temperatursensor verwendet wird. Dies führt zu einem Sensorsystem, das für Druckmessungen in rauen Umgebungen mit einer Empfindlichkeit von 1,71 µV/V/µm/m eingesetzt werden kann.

Organisationseinheit(en)

Institut für Mikroproduktionstechnik
QUEST Leibniz Forschungsschule

Typ

Paper

Seiten

89-90

Publikationsdatum

2025

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Elektronische Version(en)

https://doi.org/10.5162/SMSI2025/B3.1 (Zugang: Offen)