Direct-Deposited Thin-film Strain Gauges for High-temperature Applications

verfasst von

Rico Ottermann, Niklas Kyoushi, Marc Wurz

Organisationseinheit(en)

Institut für Mikroproduktionstechnik
QUEST Leibniz Forschungsschule

Typ

Aufsatz in Konferenzband

Publikationsdatum

23.10.2023

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Elektronische Version(en)

https://doi.org/10.15488/18557 (Zugang: Offen)
https://ieeexplore.ieee.org/document/10483196 (Zugang: Geschlossen)